不看不知道,原来氩气是这样用的!

2019-01-19  来自: 泰安市岱岳区平安乙炔气厂 浏览次数:99

氩气经常被用于焊接、不锈钢制造、冶炼,还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、内涵、分散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等。那您理解在运用时应该怎样操作码?

氩气作为制造单晶及多晶硅的维护气,为了进步硅晶体的质量,就要进步其纯度。经过对纯化安装的运用,气体中氧含量小于1ppm时,水分也小于1ppm时,制造出的单晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm,这样就进步了单晶的运用寿命并能到达要求,博得客户的称心和市场的需求。由于普通液氩汽化后未经过纯化处置,它的氧含量普通在2ppm~5ppm。

有时厂家提供的氩气超越了此范围,但运用客户确不晓得其质量,所以往往给消费商品质量形成影响。有了纯化安装后不管氩原料气的质量如何,只需经过纯化安装的处置后,进入拉晶炉的氩气,纯度一直是恒定的。普通 O2<0.2ppm,水分<1ppm,这样波动的气体才对消费晶体质量是有保证的。

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